High-End-Bewegungssysteme für die Elektronikindustrie

Die permanente Miniaturisierung der Bausteine ist Treiber für schnelle Fortschritte in der Elektronik. Basis für die immer kleineren Chips im Front-End und immer dichter bestückte Platinen im Back-End ist die kontinuierlich verbesserte Genauigkeit der eingesetzten Mess- und Bewegungstechnik in der Elektronikfertigung. ETEL-Plattformen mit HEIDENHAIN-Messgeräten sowie ETEL-Bewegungssteuerungen und -Positionsregler liefern höchste Genauigkeit und herausragende Performance.

Komplexe Lösungen einfach erklärt

ETEL CHARON2: Die flexible Plattform für Halbleiteranwendungen und mehr

ETEL Linear- und Torquemotoren: Rastfrei für maximale Genauigkeit

CHARON2: Kombiniertes Know-how von ETEL und HEIDENHAIN

Modular, skalierbar und hochgenau – das sind die Merkmale der Plattform CHARON2. Ihre Ausbaustufen reichen von einer eigenständigen X-Achse bis hin zu einem kompletten Bewegungssystem mit bis zu sieben Achsen. Der Aufbau der CHARON2 erlaubt es außerdem, verschiedenste Standardmodule und Optionen zu ergänzen. So können in extrem kurzer Zeit marktreife Lösungen realisiert werden. Damit deckt die CHARON2 ein breites Einsatzgebiet mit zahllosen Anwendungsfällen ab, nicht nur bei Halbleiteranwendungen, sondern auch in vielen anderen Märkten wie Medizintechnik, Pharmazie oder Materialwissenschaften.

Die CHARON2 bietet eine Positionsgenauigkeit im Bereich von ±1 µm gepaart mit exzellenter bidirektionaler Wiederholgenauigkeit und hoher Dynamik. Damit ist sie ein ausgezeichnetes Beispiel für die vertikale Integration von ETEL-Know-how für Motoren, Elektronik und Steuerung in Kombination mit der HEIDENHAIN-Expertise und um Positioniergenauigkeit.

Bewegungssysteme von ETEL

ETEL-Motoren: Einzigartige Technologie in großer Variantenvielfalt

ETEL bietet ein umfassendes Sortiment an Standard-Linearmotoren und Standard-Torquemotoren, die fast jede Kundenanforderung erfüllen. Das besondere Merkmal aller Motoren ist die einzigartige, rastfreie Konstruktion. Sie ermöglicht eine außergewöhnliche Spitzenkraftdichte sowie einen einzigartigen thermischen Wirkungsgrad. Das bietet erhebliche Vorteile für die Präzision.

Die Linearmotoren

ETEL konzentriert sich auf flache, permanentmagnet-erregte synchrone 3-Phasen-Linearmotoren. Diese Motorenfamilie deckt mehr als 90 Prozent aller industriellen Anwendungen mit Direktantrieben weltweit ab. Eisenbehaftete Motoren wie die Baureihen LMA, LMG und LMS bieten eine außergewöhnliche Spitzenkraft und einen ausgezeichneten thermischen Wirkungsgrad. Das eröffnet deutliche Vorteile in Präzisionsmaschinen, die kritisch auf Temperaturdrift reagieren. Die eisenlosen Motoren der Baureihen ILF+ und ILM+ verfügen über ein exzellentes lineares Geschwindigkeits- und Kraftverhalten. Damit sind sie perfekt geeignet für anspruchsvolle Scan-Applikationen, in denen keine Anziehungskräfte auftreten dürfen und die eine hohe Geschwindigkeitsstabilität erfordern.

Die Torquemotoren

Mit den Baureihen TMK, TMB+ und TML bietet ETEL gehäuselose, eisenbehaftete Torquemotoren an, die mit ihren leistungsstarken Magneten für maximales Drehmoment und höchste Beschleunigung bei möglichst geringen Motorabmessungen sorgen. Die Motoren der TMB+-Baureihe verfügen über einen Präzisionsstator und ein größtmögliches Dauerdrehmoment, wobei die Wärmeabgabe durch Flüssigkeitskühlung minimiert wird.

Die Linearmotoren Die Torquemotoren

ETEL AccurET: Die kompakten Positionsregler mit starker Leistung

ETEL UltimET: Die leistungsstarke Steuerung für synchronisierte und interpolierte Bewegungen

AccurET und UltimET: Das modulare System für die Bewegungs- und Positionssteuerung

UltimET-Bewegungssteuerungen und AccurET-Positionsregler bieten starke Leistung bei extrem kleinem Volumen. Damit steigern sie Genauigkeit sowie Durchsatz einer Maschine und sparen gleichzeitig Platz. Konstrukteure können beide Systeme dank der einheitlichen Bauweise und der modular aufgebauten Architektur mechanisch einfach in ihre Maschinen integrieren. Außerdem können UltimET-Bewegungssteuerungen und AccurET-Positionsregler alle auf dem Markt verfügbaren Servomotoren steuern. Dabei gewährleistet ihre dezentrale Architektur – unabhängig von der Anzahl der Achsen, die in der Maschine zu bewegen sind – eine konstant hohe Leistung und Geschwindigkeit. Die verteilte Architektur vereinfacht außerdem die Handhabung der Verkabelung, die Instandhaltung vor Ort, die Maschineninstallation und die Wartung.

Bewegungssteuerungen von ETEL

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Optimiert für hochgenaue, dynamische Anwendungen in der Elektronikindustrie: Offene Längenmessgeräte von HEIDENHAIN

Offene Längenmessgeräte von HEIDENHAIN sind optimiert für den Einsatz an hochgenauen und dynamischen Maschinen, wie sie in der Elektronikindustrie gefordert sind. Trotz der offenen Bauform sind sie äußerst robust und resistent gegenüber Verschmutzungen, gewährleisten also eine hohe Langzeitstabilität. Außerdem sind sie schnell und einfach zu montieren. Für Linearmotoren eignen sich aufgrund ihrer geringen Masse und der kompakten Bauform vor allem die Messgeräte der Baureihen LIF, LIP und LIDA.

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Ultraklein, hochgenau und vielseitig: Die offenen Längenmessgeräte LIKgo und LIKselect von NUMERIK JENA

Mit LIKgo und LIKselect bietet NUMERIK JENA zwei neue offene Längenmesssysteme speziell für beengte Einbausituationen bei gleichzeitig hohen Genauigkeitsanforderungen.

Ihre Vorteile:

  • Sehr kleiner und leichter Abtastkopf
  • 20 µm Teilungsperiode und Messschritte bis 78,125 nm
  • Neue 2-Feld-Scantechnologie mit extrem hoher Signalqualität
  • Keine Phasen- und Offsetfehler
  • Interpolierte TTL-Signale vom Abtastkopf ohne zusätzliche Elektronik
  • Hohe Anbautoleranzen
Mehr Infos zu LIKgo und LIKselect